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发明名称 MAGNETRON-SPUTTER-KATHODE MIT KÜHLPLATTE
摘要
申请公布号 DE502004012062(D1) 申请公布日期 2011.02.10
申请号 DE200450012062T 申请日期 2004.02.07
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 KREMPEL-HESSE, JOERG;JISCHKE, ANDREAS;SCHUESSLER, UWE;WOLF, HANS
分类号 H01J37/34;C23C14/34;C23C14/35 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
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