发明名称 SYSTEM UND VERFAHREN ZUR ANKOPPLUNG EINES PRÜFKOPFS
摘要
申请公布号 DE60238767(D1) 申请公布日期 2011.02.10
申请号 DE20026038767 申请日期 2002.07.12
申请人 INTEST CORP. 发明人 GUDIN, NAUM;WEST, CHRISTOPHER L.;WEILERSTEIN, MARVIN I.;NY, NILS O.;HOLT, ALYN R.
分类号 G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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