发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6412567(A) |
申请公布日期 |
1989.01.17 |
申请号 |
JP19870169039 |
申请日期 |
1987.07.07 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
SHIMAZAKI TOYOYUKI;UCHIDA SHINICHI;NORO FUMIHIKO |
分类号 |
H01L21/265;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/10 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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