发明名称 OPTICALLY APPLIED MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6412223(A) 申请公布日期 1989.01.17
申请号 JP19870169098 申请日期 1987.07.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TANAKA HISAO;ARIHORI MASAHIKO
分类号 G01D5/26;G01D21/00;G01K11/12;G01N21/17 主分类号 G01D5/26
代理机构 代理人
主权项
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