| 发明名称 |
PROCESS FOR LOCALLY ALTERING THE ATOMIC COMPOSITION OF SOLID BODIES, ESPECIALLY SEMICONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0190605(A3) |
申请公布日期 |
1989.07.12 |
| 申请号 |
EP19860100782 |
申请日期 |
1986.01.22 |
| 申请人 |
MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V. |
发明人 |
WEPPNER, WERNER, DR. |
| 分类号 |
B01D59/42;C30B31/02;C30B33/00;C30B33/04;H01C7/105;H01L21/16;H01L21/22;H01L21/326;H01L21/38;H01L21/385;H01L21/479;H01L29/86;H01L29/861;(IPC1-7):H01L21/16;H01C7/10;H01L29/91 |
主分类号 |
B01D59/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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