发明名称 |
凸轮锁电极夹具 |
摘要 |
凸轮锁夹具包含具有大体圆柱形本体、第一末端和第二末端的杆,该第一末端包含头部区域,该第二末端被布置为支撑同心围绕该杆的一个或更多个盘式弹簧。插座被布置为同心围绕该杆,其中该杆的头部区域暴露于该插座的最高部分上方。该插座被配置为被牢固地固定于可消耗材料。凸轮轴具有大体圆柱形本体并被配置为安装在背板的孔内。该凸轮轴被配置当该可消耗材料和该背板彼此靠近时啮合并锁住该杆的该头部区域。 |
申请公布号 |
CN101971321A |
申请公布日期 |
2011.02.09 |
申请号 |
CN200980109918.7 |
申请日期 |
2009.03.13 |
申请人 |
朗姆研究公司 |
发明人 |
迈克尔·C·凯洛格;安东尼·J·诺雷尔;安东尼·德拉列拉;拉金德尔·德辛德萨 |
分类号 |
H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
代理机构 |
上海胜康律师事务所 31263 |
代理人 |
周文强;李献忠 |
主权项 |
凸轮锁夹具,包含:具有本体部分、第一末端部分和第二末端部分的杆,该第一末端部分包含头部区域,该头部区域具有大于该本体部分的横截面尺寸的第一直径,该第二末端部分具有大于该本体部分的横截面尺寸的第二直径并被布置为支撑同心围绕该杆的一个或多个盘式弹簧;被布置为同心围绕该杆和被支撑的该多个盘式弹簧机械耦合的插座,其中该杆的该头部区域暴露于该插座的最高部分上方,该插座被配置为被牢固地固定于易耗材料;以及具有大体圆柱形本体的凸轮轴,该大体圆柱形本体的直径大于该第一直径,该凸轮轴被配置为安装在背板的孔中并进一步包含位于该圆柱形凸轮轴本体的中心部分中的偏心切口区域,该凸轮轴被进一步配置为当该消耗材料和该背板彼此靠近时啮合并锁住该杆的该头部区域。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |