脆材基板划刻器及划刻和断开系统

摘要

本发明涉及脆材基板划刻器及划刻和断开系统。脆性材料基板抛光装置用于在由划刻器划刻后的脆性材料基板已经被分离开之后对分离开的脆性材料基板的侧边缘进行抛光。为了处理在用于平板显示器的划刻和断开系统中使用的大尺寸基板，断开步骤被省除，并且所述划刻和断开系统利用划刻器和抛光装置构造而成。

主权项

一种用于脆性材料基板的划刻器，包括：工作台，用于放置所述脆性材料基板；第一划刻装置和第二划刻装置，用于分别对所述脆性材料基板的前表面和后表面进行划刻；以及用于保持所述脆性材料基板的一个端部的保持/传送装置，其中：所述保持/传送装置对所述脆性材料基板进行传送，从而使得所述脆性材料基板上的预期划刻线对应于第一划刻装置和第二划刻装置；所述第一划刻装置和第二划刻装置对由所述保持/传送装置传送来的脆性材料基板进行划刻，从而使得所述脆性材料基板上的预期划刻线对应于该第一划刻装置和第二划刻装置；并且在所述第一划刻装置和第二划刻装置对脆性材料基板进行划刻的同时，所述保持/传送装置保持住脆性材料基板的一个端部。