| 发明名称 | 化学增幅型抗蚀剂组合物及其所使用的盐 | ||
| 摘要 | 本发明提供分辨率和光罩错误增强因子优异的化学增幅型抗蚀剂组合物。当在抗蚀剂组合物中使用式(A1)所示盐作为酸产生剂时，可以达成上述目的。[式(A1)中，Z<sup>+</sup>表示有机阳离子；Q<sup>1</sup>和Q<sup>2</sup>各自独立地表示氟原子或全氟烷基；R<sup>a1</sup>表示2价的环式脂肪族烃基等；R<sup>a2</sup>为式(II-1)或式(II-2)所示的离去基团；式(II-1)和式(II-2)中，R<sup>a3</sup>和R<sup>a4</sup>表示氢原子或脂肪族烃基；R<sup>a5</sup>表示脂肪族烃基；R<sup>a6</sup>表示2价的脂肪族烃基；R<sup>a7</sup>表示脂肪族烃基。]<img file="201010239691.2_ab_0.GIF" wi="309" he="179" /> | ||
| 申请公布号 | CN101967116A | 申请公布日期 | 2011.02.09 |
| 申请号 | CN201010239691.2 | 申请日期 | 2010.07.27 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 市川幸司;吉田勋;山口训史 |
| 分类号 | C07C381/12(2006.01)I;C07C309/17(2006.01)I;C07C303/32(2006.01)I;C07D333/46(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | C07C381/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1.式(A1)所表示的盐，<img file="FSA00000209094900011.GIF" wi="841" he="198" />式(A1)中，Z<sup>+</sup>表示有机阳离子；Q<sup>1</sup>和Q<sup>2</sup>各自独立地表示氟原子或者直链状或支链状的C<sub>1-6</sub>全氟烷基；L<sup>a1</sup>表示-(CH<sub>2</sub>)<sub>m1</sub>-，m<sub>1</sub>表示1～6的整数，所述-(CH<sub>2</sub>)<sub>m1</sub>-的亚甲基可以被氧原子-O-或羰基-CO-取代，所述-(CH<sub>2</sub>)<sub>m1</sub>-的氢原子还可以被直链状或支链状的C<sub>1-4</sub>脂肪族烃基取代；L<sup>a2</sup>表示单键、-O-(CH<sub>2</sub>)<sub>L1</sub>-或-CO-O-(CH<sub>2</sub>)<sub>L1</sub>-，L<sub>1</sub>表示1～6的整数，所述-(CH<sub>2</sub>)<sub>L1</sub>-的亚甲基可以被氧原子或羰基取代，所述-(CH<sub>2</sub>)<sub>L1</sub>-的氢原子还可以被直链状或支链状的C<sub>1-4</sub>脂肪族烃基取代；R<sup>a1</sup>表示2价的环式C<sub>4-36</sub>脂肪族烃基或2价的C<sub>6-18</sub>芳香族烃基，所述2价的环式脂肪族烃基或所述芳香族烃基的氢原子可以被卤原子、直链状、支链状或环式的C<sub>1-12</sub>脂肪族烃基、C<sub>7-21</sub>芳烷基、环氧丙氧基或C<sub>2-4</sub>酰基取代，所述2价的环式脂肪族烃基的氢原子还可以被C<sub>6-20</sub>芳香族烃基取代，所述直链状、支链状或环式的脂肪族烃基或者所述芳烷基的亚甲基还可以被氧原子或羰基取代；R<sup>a2</sup>为式(II-1)或式(II-2)所示的离去基，<img file="FSA00000209094900012.GIF" wi="848" he="215" />式(II-1)中，R<sup>a3</sup>和R<sup>a4</sup>各自独立地表示氢原子，或者直链状或支链状的C<sub>1-12</sub>脂肪族烃基；R<sup>a5</sup>表示直链状、支链状或环式的C<sub>1-24</sub>脂肪族烃基，式(II-2)中，R<sup>a6</sup>表示2价的C<sub>2-24</sub>脂肪族烃基，R<sup>a7</sup>表示直链状或支链状的C<sub>1-12</sub>脂肪族烃基。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||