柱状电极靶材装置

摘要

本实用新型是有关于一种柱状电极靶材装置，其包括：中空柱状电极壳体，具有一内腔体；靶材，围绕中空柱状电极壳体的外侧而配置；托座，其中，中空柱状电极壳体是组设于托座上；第一管，部份配置于内腔体中，且与内腔体连通；第二管，是连通至内腔体；多个磁石支撑件，是容置于内腔体中，并围绕第一管而配置；以及多个磁石阵列，与磁石支撑件连接；其中，每一磁石支撑件配置有一组磁石阵列。本实用新型的柱状电极靶材装置中，磁石阵列是配置于磁石支撑件，因此可自由调动，故相较于已知的柱状电极靶材装置更可达到磁场均匀分布的效果。

主权项

一种柱状电极靶材装置，其特征在于，包括：一中空柱状电极壳体，具有一内腔体；至少一靶材，围绕该中空柱状电极壳体的外侧而配置；一托座，其中，该中空柱状电极壳体组设于该托座上；一第一管，部份配置于该内腔体中，且该第一管与该内腔体连通；一第二管，连通至该内腔体；多个磁石支撑件，容置于该内腔体中，并围绕该第一管而配置；以及多个磁石阵列，与该磁石支撑件连接；其中，该每一磁石支撑件配置有一组该磁石阵列。