| 发明名称 | 涂布装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种涂布装置，该涂布装置中左右移动体移动的同步偏差不会导致狭缝式喷嘴的变形。当驱动电动机(20)而使螺纹杆(23)旋转时，楔形螺母部件(22)沿导轨(21)移动，通过该楔形螺母部件(22)的移动，与楔形螺母部件(22)的倾斜面相抵接的楔形凸轮(24)和升降体(18)沿上下方向的导轨(17)移动，狭缝式喷嘴(19)进行升降运动。 | ||
| 申请公布号 | CN1824393B | 申请公布日期 | 2011.02.09 |
| 申请号 | CN200610057707.1 | 申请日期 | 2006.02.23 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 山口和伸;楫间淳生 |
| 分类号 | B05C5/02(2006.01)I;B05B13/04(2006.01)I | 主分类号 | B05C5/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 徐谦;经志强 |
| 主权项 | 一种涂布装置，包括水平延伸的一对平行轨道、配置在这些轨道之间的基板载置台、沿上述轨道移动的移动装置、由该移动装置支撑的狭缝式喷嘴，该涂布装置的特征在于：在上述各轨道的外侧与轨道平行配置直线电动机的支架部，在上述各轨道隔着气垫来配合移动体，该移动体构成移动机构的一部分且包括直线电动机的可动部，这些移动体为了移动时呈一体而用横梁部件来连接，而且在各移动体上设置有升降体，且该升降体与上述横梁部件分体设置，在这些升降体之间安装有狭缝式喷嘴。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||