| 发明名称 | 抛光机的上抛光盘 | ||
| 摘要 | 本发明涉及硅片研磨机或抛光机的结构，尤其涉及硅片研磨机或抛光机上抛光盘的结构。一种抛光机的上抛光盘，包括有上盘工作盘(7)，其主要特点在于还包括有在上盘工作盘(7)的上方设有上盘水冷盘(5)，上盘工作盘(7)与上盘水冷盘(5)之间形成空腔(2)，在上盘水冷盘(5)上设有进水口(3)和出水口(6)，分别与空腔(2)连通。本发明的优点是：特殊的水冷盘结构由几个独立的扇形区域腔构成，每个扇形区域腔有各自的进出水口，水路设计为迷宫式，避免了冷却水走捷径，只有在冷却水充满腔体后才能从出水口流出，确保了冷却水能对抛盘进行充分冷却，及时带走因加工而产生的热量，对抛盘起到了强制冷却的作用，较传统的被动式冷却更可靠。 | ||
| 申请公布号 | CN101966695A | 申请公布日期 | 2011.02.09 |
| 申请号 | CN201010270851.X | 申请日期 | 2010.08.30 |
| 申请人 | 兰州瑞德实业集团有限公司 | 发明人 | 金万斌;李娟;梁春 |
| 分类号 | B24D7/18(2006.01)I | 主分类号 | B24D7/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 兰州振华专利代理有限责任公司 62102 | 代理人 | 张真 |
| 主权项 | 一种抛光机的上抛光盘，包括有上盘工作盘(7)，其特征在于，还包括有在上盘工作盘(7)的上方设有上盘水冷盘(5)，上盘工作盘(7)与上盘水冷盘(5)之间形成空腔(2)，在上盘水冷盘(5)上设有进水口(3)和出水口(6)，所述的进水口(3)和出水口(6)分别与空腔(2)连通。 | ||
| 地址 | 730000 甘肃省兰州市城关区东岗西路705号 | ||