发明名称 |
芯片圆片级封装及其封装方法 |
摘要 |
本发明公开了一种芯片圆片级封装及其封装方法,其在上盖板圆片设有上密封环带,在下盖板圆片上设有与上密封环带相配合的下密封环带,上密封环带和下密封环带共晶共熔或者热压扩散实现封装或;在上盖板圆片上涂敷上环氧树脂、聚合物、金属或合金材料的键合层,在下盖板圆片上设有与上密封环带相配合的下密封环带,下密封环带挤压到键合层实现封装。本芯片圆片级封装提高封装内外部环境的密封性能,封装方法能够大大提高键合后的成品率,提高密封质量,保证长期可靠性。 |
申请公布号 |
CN101552263B |
申请公布日期 |
2011.02.09 |
申请号 |
CN200910074361.X |
申请日期 |
2009.05.18 |
申请人 |
中国电子科技集团公司第十三研究所 |
发明人 |
何洪涛;徐永青 |
分类号 |
H01L25/00(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L25/00(2006.01)I |
代理机构 |
石家庄国为知识产权事务所 13120 |
代理人 |
米文智 |
主权项 |
一种芯片圆片级封装,其由上盖板圆片和下盖板圆片封装而成,其特征在于:在上盖板圆片设有上密封环带,在下盖板圆片上设有与上密封环带相配合的下密封环带;上密封环带和下密封环带共晶共熔或者热压扩散实现封装。 |
地址 |
050051 河北省石家庄市合作路113号 |