| 发明名称 | 基板输送装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供构成不复杂、具有稳定且高精度的输送性的基板输送装置。本发明的基板输送装置(30)具有：一端设置在基台而另一端与基板支撑用的手部(32)连接的多关节臂(31)，引导手部(32)的直线移动的线性导向件(36)，沿线性导向件(36)的导轨(37a)使手部(32)移动的带驱动机构(38)。这样构成的基板输送装置(30)由多关节臂(31)支撑作用于手部(32)的负荷，由线性导向件(36)保证手部(32)的直接输送性。因此，由于不需要用于通过止点的特别机构，所以可防止构成的复杂化。另外，由于负荷不直接作用在线性导向件(36)上，所以可得到高的输送精度。 | ||
| 申请公布号 | CN101454888B | 申请公布日期 | 2011.02.09 |
| 申请号 | CN200780019765.8 | 申请日期 | 2007.05.28 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 中尾裕利 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I;B25J9/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 何腾云 |
| 主权项 | 一种基板输送装置，其特征在于，该基板输送装置具有：一端设置在基台上而另一端连接在基板支撑用手部上的多关节臂，引导所述手部的直线移动的线性导向件，以及使所述手部沿所述线性导向件的导轨移动的带驱动机构，所述带驱动机构具有：连接在驱动轴上的驱动带轮，一对从动带轮，架设在所述驱动带轮和所述一对从动带轮之间的带部件，在各所述从动带轮和所述驱动带轮之间分别设置、用于调整所述带部件张力的辅助带轮，连接所述带部件和所述手部并与所述线性导向件的滑动件整体固定的连接部件，设置在所述基台上并支撑所述驱动带轮、所述从动带轮以及所述辅助带轮的框部件。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||