设计和制造LSI的系统和方法以及电子束数据生成系统

摘要

一种LSI设计系统，包括：存储器；数据库，用于存储布图层定义文件；以及控制部件，用于参考数据库以根据所述布图层定义文件在所述存储器中建立多个布图层。多个布图层在要形成的LSI的物理层的一个中具有图案的延伸方向。控制部件根据延伸方向将每个图案分成图案结构，并且将每个图案结构指定到多个布图层的对应的一个。

主权项

一种LSI设计系统，包括：存储器；数据库，用于存储布图层定义文件；以及控制部件，用于参考所述数据库以根据所述布图层定义文件在所述存储器中建立多个布图层，其中所述多个布图层在要形成的LSI的物理层的一个中具有图案的延伸方向，并且所述控制部件根据所述延伸方向将每个所述图案分成图案结构，并且将每个所述图案结构指定到所述多个布图层的对应的一个，其中所述控制部件对要形成的LSI的所有物理层建立所述多个布图层，并且将每个所述图案结构指定到对应的布图层，其中所述数据库还存储设计规则文件，以及所述控制部件参考所述设计规则文件以检查所述多个布图层的每个是否满足在所述设计规则文件中定义的设计规则。