发明名称 |
氧化锌晶体,它的生长方法和发光器件的生产方法 |
摘要 |
本发明涉及氧化锌晶体,它的生长方法和发光器件的生产方法。ZnO晶体生长方法具有下述步骤:(a)制备具有能够生长暴露Zn极性平面的ZnO晶体的表面的基质;(b)在基质表面上通过交替重复富Zn条件期间和富O条件期间供给Zn和O;和(c)在步骤(b)供给Zn和O的同时在基质表面上供给导电型确定杂质。 |
申请公布号 |
CN101283122B |
申请公布日期 |
2011.02.09 |
申请号 |
CN200680037146.7 |
申请日期 |
2006.08.08 |
申请人 |
斯坦雷电气株式会社 |
发明人 |
加藤裕幸;佐野道宏 |
分类号 |
C30B23/08(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I |
主分类号 |
C30B23/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
张平元 |
主权项 |
ZnO晶体生长方法,包括下述步骤:(a)制备具有能够生长暴露Zn极性平面的ZnO晶体的表面的基质;(b)在所述基质表面上通过交替重复富Zn条件期间和富O条件期间供给Zn和O;和(c)在步骤(b)供给Zn和O的期间中在所述基质表面上供给导电型确定杂质。 |
地址 |
日本东京都 |