发明名称 氧化锌晶体,它的生长方法和发光器件的生产方法
摘要 本发明涉及氧化锌晶体,它的生长方法和发光器件的生产方法。ZnO晶体生长方法具有下述步骤:(a)制备具有能够生长暴露Zn极性平面的ZnO晶体的表面的基质;(b)在基质表面上通过交替重复富Zn条件期间和富O条件期间供给Zn和O;和(c)在步骤(b)供给Zn和O的同时在基质表面上供给导电型确定杂质。
申请公布号 CN101283122B 申请公布日期 2011.02.09
申请号 CN200680037146.7 申请日期 2006.08.08
申请人 斯坦雷电气株式会社 发明人 加藤裕幸;佐野道宏
分类号 C30B23/08(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I 主分类号 C30B23/08(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 张平元
主权项 ZnO晶体生长方法,包括下述步骤:(a)制备具有能够生长暴露Zn极性平面的ZnO晶体的表面的基质;(b)在所述基质表面上通过交替重复富Zn条件期间和富O条件期间供给Zn和O;和(c)在步骤(b)供给Zn和O的期间中在所述基质表面上供给导电型确定杂质。
地址 日本东京都