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发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR THE PRODUCTION OF GROUP IV NANOPARTICLES IN A FLOW-THROUGH PLASMA REACTOR
摘要
申请公布号 EP2178631(B1) 申请公布日期 2011.02.09
申请号 EP20080754979 申请日期 2008.05.01
申请人 INNOVALIGHT, INC. 发明人 LI, XUEGENG;ALCANTARA, CHISTOPHER;KELMAN, MAXIM;ROGOJINA, ELENA;SCHIFF, ERIC;TERRY, MASON;VANHEUSDEN, KAREL
分类号 B01J12/00;B01J19/08;C01B33/029;H01J37/32 主分类号 B01J12/00
代理机构 代理人
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