薄板处理制程的输送方法与装置

摘要

本发明涉及一种薄板处理制程的输送方法与装置。该方法为：藉一内部宽度为1～2cm的沉浸槽，并在沉浸槽内的相对两侧分别提供持续流入的化学液体，同时在沉浸槽内的底面提供为排出该化学液体而使沉浸槽内的化学液体产生往下的吸引力，一板件以竖立状态在该沉浸槽内的液体中被输送，藉由所述沉浸槽内相对两侧的化学液体提供对该板件支撑，避免板件与沉浸槽的内壁面接触。与前述方法配合的输送装置包括一沉浸槽、复数涌流管、复数涌流板和一横移输送机。本发明可使薄板件在沉浸槽内维持稳定的竖立状态而行进，避免板件在沉浸槽内的输送过程变形或晃动，防止超薄板件因挠曲与沉浸槽内壁面干涉造成卡板，得以大幅提升产品良率。

主权项

一种薄板处理制程的输送方法，其特征在于，该方法为：采用一内部宽度为1～2cm的沉浸槽，并在沉浸槽内的相对两侧分别提供持续流入的化学液体，同时在沉浸槽内的底面提供为排出该化学液体而使沉浸槽内的化学液体产生往下的吸引力，一板件以竖立状态在该沉浸槽内的液体中被输送，藉由所述沉浸槽内相对两侧的化学液体提供对该板件支撑，避免板件与沉浸槽的内壁面接触。