用于清洗基板的装置

摘要

可提供根据本发明的基板清洗设备以抑制由于紧固而引起的多孔清洗板的损伤和应力，以及通过采用使用插入块在大尺寸多孔清洗板和歧管之间进行紧固的间接紧固法来防止漏气，并且特征在于：包括基板插入引导单元，用于插入来自外部的基板；杂质移除单元，用于接收来自基板插入引导单元的基板以移除形成在基板上的杂质；杂质清洗单元，用于接收来自杂质移除单元的基板以清洗并移除残留在基板上的杂质；和位置控制单元，用于控制从杂质清洗单元运出的基板的位置，其中杂质清洗单元包括形成有多个紧固孔的插入块、其中将插入块插入到以规则间隔形成的凹槽中的多孔清洗板、和其中经由插入块中的紧固孔插入紧固螺丝以将歧管与多孔清洗板组合的歧管。

主权项

一种用于清洗基板的设备，包括：基板插入引导单元，用于从外部插入基板；杂质移除单元，用于接收来自基板插入引导单元的基板，以移除形成在基板上的杂质；杂质清洗单元，用于接收来自杂质移除单元的基板，以清洗并移除残留在基板上的杂质；和位置控制单元，用于控制从杂质清洗单元运出的基板的位置，其中所述杂质清洗单元包括形成有多个紧固孔的插入块；多孔清洗板，其中插入块被插入到以规则间隔形成的凹槽中；和歧管，其中经由插入块中的紧固孔插入紧固螺丝以将歧管与多孔清洗板组合。