具有气体缓冲均匀功能的离子源

摘要

本发明涉及一种具有气体缓冲均匀功能的离子源，包括气源、电弧室、用于连接所述的气源及电弧室的导管，所述的电弧室包括设置有灯丝的电弧腔，所述的电弧室的气体入口处设置有气体容腔，所述的气体容腔的进气口与所述的导管连通、所述的气体容腔的出气口与所述的电弧室连通。采用上述结构的离子源，气体能够持续、均匀、稳定的流入电弧室的气体容腔，能够获得持续稳定的电离效果。

主权项

一种具有气体缓冲均匀功能的离子源，包括气源、电弧室(1)、用于连接所述的气源及电弧室的导管(2)，所述的电弧室(1)包括设置有灯丝的用于将气体电离的电弧腔(12)，其特征在于：所述的电弧室的气体入口处的内部设置有气体容腔(11)，所述的气体容腔(11)的进气口与所述的导管(2)连通、所述的气体容腔(11)的出气口与所述的电弧室(1)连通；所述的导管(2)上还设置有缓冲球室(3)，所述的缓冲球室(3)包括进气端和出气端，所述的进气端及出气端的至少一个上设置有莲蓬分流器(37)，所述的莲蓬分流器(37)呈自根部向梢部直径逐渐增大的莲蓬状，所述的莲蓬分流器(37)的梢部端面朝向所述的缓冲球室(3)的内部，并且该梢部端面上规则开设有多个气孔。