发明名称 |
旋转头 |
摘要 |
本发明提供一种支撑和旋转基材的旋转头。该旋转头包括主体、设置在该主体上并可在支撑位置和非支撑位置之间移动的夹持销以及被配置成用于直线移动该夹持销的夹持销移动单元。该夹持销在支撑位置处支撑基材,并在非支撑位置处提供基材装载/卸载空间。该夹持销移动单元包括固定在该夹持销上的可动杆、可转动的凸轮和夹持销返回单元,该凸轮包括在它外表面上的凸部,用于将该夹持销从支撑位置移动到非支撑位置,该夹持销返回单元对该可动杆施加力,从而使该夹持销从非支撑位置移动到支撑位置。该夹持销移动单元还包括接触维持件。 |
申请公布号 |
CN101404264B |
申请公布日期 |
2011.02.09 |
申请号 |
CN200810145785.6 |
申请日期 |
2008.08.19 |
申请人 |
细美事有限公司 |
发明人 |
李泽烨 |
分类号 |
H01L21/687(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 |
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 |
代理人 |
梁兴龙;陈桂香 |
主权项 |
一种支撑基材的旋转头,其包括:主体;设置在所述主体上并从所述主体向上伸出的夹持销;以及夹持销移动单元,其被设置成用于在支撑位置和非支撑位置之间移动所述夹持销,从而通过将所述夹持销移动到所述支撑位置而支撑置于所述旋转头上的基材的边缘,以及通过将所述夹持销移动到比所述支撑位置更远离所述主体中央的所述非支撑位置而将基材放置在所述主体上;其中,所述夹持销移动单元包括:固定在所述夹持销上的可动杆;可转动的凸轮,其包括在它外表面上的凸部,用于将所述夹持销从所述支撑位置移动到所述非支撑位置;夹持销返回单元,用于向所述可动杆施加力,从而使所述夹持销从所述非支撑位置移动到所述支撑位置;以及接触维持件,所述接触维持件被配置成当所述夹持销在所述支撑位置时将所述可动杆推向所述主体的中央并移动到预定位置,从而当所述夹持销从所述支撑位置移动到所述非支撑位置时不会阻碍所述可动杆的移动。 |
地址 |
韩国忠清南道 |