| 发明名称 | 遮蔽掩模图案的形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种遮蔽掩模图案的形成方法，其在施加有拉力的状态下首先焊接在掩模框上，利用激光形成蒸镀图案，由此容易制作大面积的掩模，并且加工步骤及设备简单，能够缩短加工时间。本发明的遮蔽掩模图案的形成方法在由对掩模框施加有拉力的状态下固定的固定部和形成有图案的透过区域构成的遮蔽掩模上形成图案，其特征在于，包括：一边在所述遮蔽掩模上施加与所述拉力对应的张力一边固定所述遮蔽掩模的步骤；在已固定的遮蔽掩模的透过区域选定图案形成开始位置的步骤；从所述图案形成开始位置沿螺旋方向的形成路径形成所述图案的步骤。 | ||
| 申请公布号 | CN1800970B | 申请公布日期 | 2011.02.09 |
| 申请号 | CN200510092324.3 | 申请日期 | 2005.08.26 |
| 申请人 | 三星移动显示器株式会社 | 发明人 | 金振圭;韩尚辰;康熙哲;姜有珍 |
| 分类号 | G03F1/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人 | 余朦;王达佐 |
| 主权项 | 一种遮蔽掩模图案的形成方法，其在由对掩模框施加有拉力的状态下固定的固定部和形成有图案的透过区域构成的遮蔽掩模上形成图案，其特征在于，包括：一边在所述遮蔽掩模上施加与所述拉力对应的张力一边固定所述遮蔽掩模的步骤；在已固定的遮蔽掩模的透过区域选定图案形成开始位置的步骤；从所述图案形成开始位置沿螺旋方向的形成路径形成所述图案的步骤。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||