等离子体无约束传感器及其方法

摘要

提供一种在等离子体反应器内用于检测等离子体无约束事件的装置。该装置包括传感器，其是在该等离子体反应器内实现的电容式传感器。该传感器是在等离子体约束区域外实现的并被配置为当该传感器暴露于与该等离子体无约束事件有关的等离子体时产生瞬态电流。该传感器具有至少一个电绝缘外层，该电绝缘外层定向为朝向与该等离子体无约束事件有关的该等离子体。该装置还包括检测电路，其电气连接于该传感器以将该瞬态电流转换为瞬态电压信号并处理该瞬态电压信号以确定该等离子体无约束事件是否存在。

主权项

一种在等离子体反应器内用于检测等离子体无约束事件的装置，包含：传感器，所述传感器是在所述等离子体反应器内实现的电容式传感器，所述传感器是在等离子体约束区域外实现的，其中所述传感器被配置为当所述传感器暴露于与所述等离子体无约束事件有关的等离子体时产生瞬态电流，其中所述传感器具有至少一个电绝缘外层，所述电绝缘外层定向为朝向与所述等离子体无约束事件有关的所述等离子体；以及检测电路，所述检测电路电气连接于所述传感器以将所述瞬态电流转换为瞬态电压信号并处理所述瞬态电压信号以确定所述等离子体无约束事件是否存在。