叠层式压电元件及其制造方法

摘要

一种叠层式压电元件，包括多层压电材料层、多层导电层、一第一导通孔和一第二导通孔、以及多个绝缘部。压电材料层间隔设置于导电层之间。第一、二导通孔分别贯穿所述压电材料层和所述导电层，其中第一、第二导通孔内填充有一导电材料。绝缘部则一一对应地形成于导电层处，且相邻的两绝缘部分别位于第一、第二导通孔的外缘，使所在的导电层和导通孔内的导电材料电性隔绝。

主权项

一种压电单元结构，包括：一压电材料层，具有一上表面和一下表面；一第一导电层和一第二导电层，分别位于该压电材料层的该上下表面；一第一导通孔，贯穿该压电材料层；一第二导通孔，贯穿该压电材料层；至少一绝缘部，形成于该第一、第二导电层其中之一层处，并围绕该第一、第二导通孔其中之一，以隔绝该导通孔和所在的该导电层。