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发明名称
摘要
申请公布号	JP4628696(B2)	申请公布日期	2011.02.09
申请号	JP20040165630	申请日期	2004.06.03
申请人		发明人
分类号	C23C16/509;C23C16/458;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/285	主分类号	C23C16/509
代理机构		代理人
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