石英玻璃坩埚

摘要

本发明提供一种石英玻璃坩埚，该石英玻璃坩埚的外表面层由天然石英玻璃形成，内面层由合成石英玻璃形成。直筒部具有朝向上方并向外侧展开的形状，优选的，向外侧展开部分的下端和上端的内径差是0.1％以上，并且，角部的合成石英玻璃内面层的层厚是角部部分壁厚的20％以上～80％以下，直筒部及底部的合成石英玻璃内面层薄于角部的合成石英玻璃内面层。本发明提供一种即使是大口径的坩埚也在提拉时的高温下上难以产生内倒变形的石英玻璃坩埚。

主权项

一种提拉硅单结晶用的石英玻璃坩埚，其特征在于：具备由天然石英玻璃形成的外表面层，以及由合成石英玻璃形成的内面层，直筒部具有朝向上方并向外侧展开的形状，角部的上述内面层的最大层厚是在该位置上的上述角部壁厚的20％以上～80％以下，上述直筒部及底部的上述内面层薄于上述角部的上述内面层的最大层厚。