发明名称 |
一种在原子力显微镜针尖上组装氧化锌纳米线的工艺 |
摘要 |
一种在原子力显微镜针尖上组装氧化锌纳米线的工艺,包括以下步骤:在所述的显微镜针尖上沉积催化剂,将沉积有催化剂的显微镜针尖针尖向上与合成氧化锌纳米线的原料一起加热形成显微镜针尖上的氧化锌纳米线。本发明得到的组装有ZnO纳米线的原子力显微镜针尖可用于原子力显微镜进行成像。 |
申请公布号 |
CN101026023B |
申请公布日期 |
2011.02.09 |
申请号 |
CN200710037773.7 |
申请日期 |
2007.03.02 |
申请人 |
上海集成电路研发中心有限公司 |
发明人 |
朱正辉 |
分类号 |
G12B21/08(2006.01)I;G01N13/16(2006.01)I;C01G9/02(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I |
主分类号 |
G12B21/08(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 31002 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
一种在原子力显微镜针尖上组装氧化锌纳米线的工艺,其特征在于包括以下步骤:在所述的显微镜针尖上沉积催化剂,将沉积有催化剂的显微镜针尖针尖向上与合成氧化锌纳米线的原料一起加热形成显微镜针尖上的氧化锌纳米线,所述的合成氧化锌纳米线的原料包括ZnO和C的混合粉体,以及通入的O2/N2混合气体。 |
地址 |
201203 上海市张江碧波路177号4楼B区 |