维修方法、曝光方法及装置、以及组件制造方法

摘要

维修方法，具备：将液体1供应到光学构件(2)与衬底(P)之间以形成液浸区域的液浸空间形成构件(30)、将液体1供应到液浸空间的液体供应机构(10)、移动衬底(P)的衬底载台(PST)、以及形成有基准标记的测量载台MST的曝光装置。为了洗净液浸空间形成构件(30)，将洗净液供应到测量载台MST与液浸空间形成构件(30)之间。曝光装置具备用于洗净液浸空间形成构件(30)的各种洗净机构。能有效地进行曝光装置的维修同时实施液浸曝光。

主权项

一种曝光装置的维修方法，上述曝光装置用第1液体充满衬底载台所保持的衬底与光学构件之间以形成液浸空间，经由上述光学构件与上述第1液体用曝光用光使上述衬底曝光，上述曝光装置的维修方法的特征在于包括：移动步骤，与使用上述第1液体形成上述液浸空间的液浸空间形成构件对向，与上述衬底载台独立地配置可动载台；以及洗净步骤，从上述可动载台将第2液体供应到上述液浸空间形成构件与上述可动载台之间，且用超音波使上述第2液体振动来洗净上述液浸空间形成构件。