| 发明名称 |
METHOD OF IMPROVING INTERLAYER ADHESION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110013574(A) |
申请公布日期 |
2011.02.09 |
| 申请号 |
KR20117001449 |
申请日期 |
2004.03.05 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
SCHMITT FRANCIMAR C.;XIA LI QUN;NGUYEN SON VAN;VENKATARAMAN SHANKAR |
| 分类号 |
H01L21/28;C23C16/02;C23C16/30;C23C16/32;C23C16/505;C23C16/56;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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