发明名称 |
基板的制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种基板的制造方法,包括下列步骤:首先,提供一第一母基板,其至少具有两个第一对位标志。接着,测量这些第一对位标志之间的距离,以得出一第一距离。之后,于第一母基板上形成多个阵列单元。然后,分割第一母基板。此外,测量第一对位标志之间的距离,以得出一第二距离。接着,计算第一距离与第二距离的差值,以得出一补偿值。之后,通过补偿值调整第一对位标志之间的距离,以于一第二母基板上形成至少两个第二对位标志。然后,于第二母基板上形成阵列单元。 |
申请公布号 |
CN101515096B |
申请公布日期 |
2011.02.09 |
申请号 |
CN200810081511.5 |
申请日期 |
2008.02.22 |
申请人 |
中华映管股份有限公司 |
发明人 |
李仲明;吴恒忠;陈俊仁;洪建兴;黄坤源;陈晋升 |
分类号 |
G02F1/136(2006.01)I;G02F1/1335(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/136(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
陈亮 |
主权项 |
一种基板的制造方法,包括:提供一第一母基板,具有多个阵列单元预定区,且该第一母基板至少具有两个第一对位标志;测量该些第一对位标志之间的距离,得出一第一距离;沿该些阵列单元预定区,分割该第一母基板;测量该些第一对位标志之间的距离,得出一第二距离;计算该第一距离与该第二距离的差值,得出一补偿值;以及通过该补偿值调整该些第一对位标志之间的距离,以于一第二母基板上形成至少两个第二对位标志。 |
地址 |
中国台湾台北市中山北路三段二十二号 |