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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04293774(A)
申请公布日期
1992.10.19
申请号
JP19910055395
申请日期
1991.03.20
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
FUJIMOTO SHIGERU
分类号
C23C14/56;H01L21/203
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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