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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05134013(A)
申请公布日期
1993.05.28
申请号
JP19910300667
申请日期
1991.11.15
申请人
SHARP CORP
发明人
SHIBATA HIROYUKI
分类号
G01R31/319;G01R31/28
主分类号
G01R31/319
代理机构
代理人
主权项
地址
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