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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 KR101012554(B1) 申请公布日期 2011.02.07
申请号 KR20080087719 申请日期 2008.09.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/304 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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