发明名称 DISPOSITIF DE DEPLACEMENT MICROMETRIQUE ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE
摘要 L'invention propose un dispositif de déplacement micrométrique caractérisé en ce qu'il comprend : - un actionneur piézoélectrique de type fléchisseur, - lié à une structure de support et de réglage, - par l'intermédiaire d'un moyen de découplage comprenant : o une masse inertielle o dont une partie est fixée à l'actionneur piézoélectrique, o une autre partie étant fixée à une couche solidaire de la structure de support et de réglage, cette couche étant en matériau à forte capacité d'absorption des vibrations, présentant un facteur de dissipation de l'énergie tan (δ) compris entre 0,5 et 0,7, de préférence entre 0,53 et 0,6, dans une gamme de fréquence de 5 à 1000Hz.
申请公布号 FR2948593(A1) 申请公布日期 2011.02.04
申请号 FR20090003752 申请日期 2009.07.30
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE;ECOLE NORMALE SUPERIEURE 发明人 TIERCELIN JEAN YVES;ESTEBANEZ LUC;SHULZ DANIEL;JACOB VINCENT
分类号 B25J7/00;H01L41/09 主分类号 B25J7/00
代理机构 代理人
主权项
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