| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen sowie Verwendung einer derartigen Vorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102007059717(B4) |
申请公布日期 |
2011.02.03 |
| 申请号 |
DE20071059717 |
申请日期 |
2007.12.12 |
| 申请人 |
R3T GMBH RAPID REACTIVE RADICALS TECHNOLOGY |
发明人 |
MATHUNI, JOSEF |
| 分类号 |
B81C1/00;B81C99/00;G03F7/00;H05H7/14 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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