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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07128384(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930276542 申请日期 1993.11.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKAJIMA TAKASHI;MIURA HIDEO;OTA HIROYUKI;ISHIZUKA NORIO
分类号 G01R31/26;G01R31/00;G11C29/00;G11C29/06;H01L21/66;H01L21/822;H01L23/00;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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