发明名称 PRODUCTION OF ISOTROPIC HIGH ALPHA-TYPE SILICON NITRIDE POWDER
摘要
申请公布号 JPH07257911(A) 申请公布日期 1995.10.09
申请号 JP19940074235 申请日期 1994.03.18
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 MIYAZAWA HIDENOBU;SHINDO TOSHIHIKO;KUWABARA HARUYOSHI;OTSUKA AKIO
分类号 C01B21/068;(IPC1-7):C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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