发明名称 驻极体和驻极体电容器
摘要 以覆盖成为驻极体的带电氧化硅膜105的方式,来形成氮化硅膜103及氮化硅膜106。
申请公布号 CN1883020B 申请公布日期 2011.02.02
申请号 CN200480034059.7 申请日期 2004.11.12
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 山冈彻;小仓洋;三由裕一;佐佐木智幸
分类号 H01G7/02(2006.01)I;H04R19/01(2006.01)I 主分类号 H01G7/02(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汪惠民
主权项 一种驻极体,其特征在于:包括:带电的氧化硅膜,以覆盖所述氧化硅膜的上面和侧面的方式形成的第1绝缘膜,以及以覆盖所述氧化硅膜的下面的方式形成的第2绝缘膜,所述第1绝缘膜和所述第2绝缘膜为氮化硅膜。
地址 日本大阪府