激光加工装置以及激光加工方法

摘要

激光加工装置(11)包括第一偏移机构(31)，其包括：第一透明部件(41)，具有彼此平行的第一入射面(43)和第一出射面(44)；第一马达(42)，使得第一透明部件以第一转动轴为中心转动；第一偏移机构使得与第一入射面的入射光平行地从第一出射面出射的激光L向第一方向偏移。激光加工装置还包括第二偏移机构(32)，其包括：第二透明部件(46)，具有彼此平行的第二入射面(48)和第二出射面(49)；第二马达(47)，使得第二透明部件以第二转动轴为中心转动；第二偏移机构使得与第二入射面的入射光平行地从第二出射面出射的激光L向第二方向偏移。通过聚光透镜(22)汇聚从第二偏移机构(32)偏移的激光L以加工工件W1。通过该结构，能够自由控制通过激光加工形成的孔的锥角。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，包括：出射激光的激光光源；第一偏移部，所述第一偏移部包括：第一透明部件，其具有彼此平行的第一入射面和第一出射面；以及第一转动机构，其支承所述第一透明部件，以使所述激光通过所述第一入射面以及所述第一出射面，并且使得所述第一透明部件以第一转动轴为中心转动，以改变所述第一入射面上的激光的入射角度；所述第一偏移部使得与所述第一入射面的入射光平行地从所述第一出射面出射的出射光向第一方向偏移；第二偏移部，所述第二偏移部包括：第二透明部件，其具有第二入射面和第二出射面，其中，从所述第一偏移部出射的激光向所述第二入射面入射，所述第二出射面与所述第二入射面平行；以及第二转动机构，其支承所述第二透明部件，以使所述激光通过所述第二入射面以及所述第二出射面，并且使得所述第二透明部件以与所述第一转动轴垂直的第二转动轴为中心转动，以改变所述第二入射面上的激光的入射角度；所述第二偏移部使得与所述第二入射面的入射光平行地从所述第二出射面出射的出射光向与所述第一方向垂直的第二方向偏移；以及聚光器，所述聚光器汇聚从所述第二偏移部出射的激光。