压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备、电波钟及压电振动片的制造方法

摘要

本发明提供无需严格追随曝光位置精度而断线的可能性低且确保稳定动作的可靠度的压电振动片。提供一种压电振动片(1)，其中包括：振动腕部(3、4)；固定振动腕部的基端部的基部(5)；形成在振动腕部的主表面上的沟部(6)；以及使振动腕部振动的激振电极(10、11)，激振电极具有主表面电极部(20)、侧面电极部(21)、和连接电极部(22)，主表面电极部形成为振动腕部的基端部侧的横宽(W1)窄于其它部分的横宽(W2)，以在靠近叉头部(15)的振动腕部的主表面上确保空白区域(S)，连接电极部形成宽幅，以在振动腕部的主表面上利用空白区域接近沟部的开口端一侧。

主权项

一种压电振动片，其特征在于，包括压电板和激振电极，该压电板具有平行配置的一对振动腕部、将该一对振动腕部的基端部固定成一体的基部、以及在一对振动腕部的主表面上从该振动腕部的基端部朝着前端部以一定宽度纵向较长地形成的沟部，该激振电极形成在所述压电板的外表面上，在被施加电压时使所述一对振动腕部振动，所述激振电极包括：主表面电极部，形成在所述沟部内和包围该沟部的所述振动腕部的主表面上；侧面电极部，形成在所述振动腕部的侧面上；以及连接电极部，以与所述侧面电极部连接的方式形成在所述振动腕部的主表面上，并且经由所述基部的主表面上而迂回至另一振动腕部一侧之后，连接到该振动腕部一侧的所述主表面电极部，所述主表面电极部形成为使所述振动腕部的基端部侧的横宽窄于其它部分的横宽，以在靠近叉头部的所述振动腕部的主表面上确保空白区域，所述连接电极部形成为宽幅，以在所述振动腕部的主表面上利用所述空白区域接近所述沟部的开口端一侧。