发明名称 感光性聚有机硅氧烷组合物
摘要 本发明提供一种感光性聚有机硅氧烷组合物,其包括:(a)成分:聚有机硅氧烷100质量份;和(b)成分:光聚合引发剂0.1~20质量份。此处,该聚有机硅氧烷是通过将摩尔比在特定范围的通式(1):R2Si(OH)2表示的硅烷醇化合物、通式(2):R’Si(OR”)3表示的烷氧基硅烷化合物、及通式(3):R’”Si(OR””)3表示的烷氧基硅烷化合物与选自由通式(4):M(OR”””)4表示的金属醇盐、通式(5):M’(OR”””)3表示的金属醇盐、及Ba(OH)2组成的组中的催化剂混合,在不添加水的条件下使其聚合而得到。上述通式(1)~(5)中的基团为权利要求中定义的基团。
申请公布号 CN101965542A 申请公布日期 2011.02.02
申请号 CN200980108251.9 申请日期 2009.03.06
申请人 旭化成电子材料株式会社 发明人 木村正志;平田竜也
分类号 G03F7/075(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I 主分类号 G03F7/075(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 一种感光性聚有机硅氧烷组合物,其包含下述(a)成分和(b)成分:(a)聚有机硅氧烷100质量份,此处,该聚有机硅氧烷是将下述通式(1)表示的至少一种硅烷醇化合物、下述通式(2)表示的至少一种烷氧基硅烷化合物、及下述通式(3)表示的至少一种烷氧基硅烷化合物与选自由下述通式(4)表示的金属醇盐、下述通式(5)表示的金属醇盐、及Ba(OH)2组成的组中的至少1种催化剂混合,在不添加水的条件下使其聚合而得到,此处,通式(1)表示的硅烷醇化合物相对于通式(2)表示的烷氧基硅烷化合物和通式(3)表示的烷氧基硅烷化合物的总和的摩尔比为50∶30~50∶70,且通式(2)表示的烷氧基硅烷化合物相对于通式(3)表示的烷氧基硅烷化合物的摩尔比为70∶30~30∶70,[化学式1]R2Si(OH)2                    (1)式中,R是含有至少1个芳香基的碳原子数为6~18的一价基团,均可以相同或不同,[化学式2]R’Si(OR”)3                (2)式中,R’是不含光聚合性的碳‑碳双键的具有五元环~六元环的含氮原子杂环基(也包括不具有芳香性的杂环基)的碳原子数2~11的有机基,且R”是甲基或乙基,均可以相同或不同,[化学式3]R’”Si(OR””)3           (3)式中、R’”是含有光聚合性的碳‑碳双键基的碳原子数为2~17的有机基,且R””是甲基或乙基,均可以相同或不同,[化学式4]M(OR’””)4                       (4)式中,M是硅、锗、钛或锆中的任一种,且R’””为碳原子数1~4的烷基,均可以相同或不同,[化学式5]M’(OR”””)3             (5)式中,M’是硼或铝,且R”””为碳原子数1~4的烷基,均可以相同或不同;(b)光聚合引发剂0.1~20质量份。
地址 日本东京都