预电离与主放电时序控制装置及方法

摘要

本发明提出一种气体放电激光器预电离与主放电时序控制装置与方法。气体放电激光器预电离与主放电时序控制装置包括输入端、预电离放电回路、主放电回路、时间测量单元和控制单元。本发明通过保证预电离与主放电时间间隔的稳定性，进一步提高激光器放电的均匀性，为光刻机提供稳定的光源输出。

主权项

一种气体放电激光器预电离与主放电时序控制装置，其特征在于包括：输入端；预电离放电回路，包括主脉冲发生器、前级脉冲压缩电路、第一末级脉冲压缩电路和预电离电极，上述主脉冲发生器电性连接上述输入端，产生上述激光器放电所需的脉冲，上述前级脉冲压缩电路耦接上述主脉冲发生器，收窄上述脉冲宽度，上述第一末级脉冲压缩电路电性连接上述前级脉冲压缩电路，上述预电离电极电性连接上述第一末级脉冲压缩电路；主放电回路，包括上述主脉冲发生器、上述前级脉冲压缩电路、第二末级脉冲压缩电路和主放电电极，上述第二末级脉冲压缩电路电性连接上述前级脉冲压缩电路，主放电电极电性连接上述第二末级脉冲压缩电路；时间测量单元，电性连接上述预电离放电电极和上述主放电电极，测量预电离开始的第一时间和主放电开始的第二时间；以及控制单元，电性连接上述第一末级脉冲压缩电路和上述第二末级脉冲压缩电路的至少其中之一，且上述控制单元电性连接上述时间测量单元，根据第一时间和上述第二时间控制与控制单元电性连接的放电回路的电流。