发明名称 用于控制设备工程系统的良品率预测反馈
摘要 良品率预测由安排及分派控制器接收,其中该良品率预测有关于制造工具和产品。基于该良品率预测在路由算法中调整该制造工具的权重。计算成本-利润分析,其确定在该制造工具上制造将来产品的成本和利润;以及基于该成本-利润分析,决定是否在该制造工具上处理将来产品。
申请公布号 CN101965569A 申请公布日期 2011.02.02
申请号 CN200980107872.5 申请日期 2009.02.06
申请人 应用材料公司 发明人 詹姆士·莫尼;尼古拉斯·沃德;理查德·斯塔福德
分类号 G06F17/50(2006.01)I;G06F19/00(2006.01)I 主分类号 G06F17/50(2006.01)I
代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人 柳春雷;南霆
主权项 一种由计算机实施的方法,包括:由安排及分派控制器接收良品率预测,其中,所述良品率预测与制造工具和产品相关联;基于所述良品率预测在路由算法中调整所述制造工具的权重;计算成本‑利润分析,其识别在所述制造工具上制造将来产品的成本和利润;以及基于所述成本‑利润分析,决定是否在所述制造工具上处理将来产品。
地址 美国加利福尼亚州
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