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发明名称
摘要
申请公布号
JP2576339(B2)
申请公布日期
1997.01.29
申请号
JP19920212957
申请日期
1992.08.10
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
KODAIRA TOSHIMOTO;OOSHIMA HIROYUKI;MANO TOSHIHIKO
分类号
G02F1/1333;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):G02F1/133
主分类号
G02F1/1333
代理机构
代理人
主权项
地址
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