发明名称
摘要
申请公布号 JP2576339(B2) 申请公布日期 1997.01.29
申请号 JP19920212957 申请日期 1992.08.10
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KODAIRA TOSHIMOTO;OOSHIMA HIROYUKI;MANO TOSHIHIKO
分类号 G02F1/1333;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):G02F1/133 主分类号 G02F1/1333
代理机构 代理人
主权项
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