压电振动器、电压振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟

摘要

本发明提供一种压电振动器(1)，其中包括：基底基板(2)及盖基板(3)，以在基底基板(2)与盖基板(3)之间形成空腔(C)的方式叠合；压电振动片(4)，收容于空腔内并与基底基板一侧接合；吸气材料(34)，以收容于空腔内的方式形成于基底基板；以及接合膜(35)，形成在盖基板中朝向基底基板一侧的整个面上，并在与基底基板接触的部分接合两基板，接合膜用通过照射激光来激活而可吸附周围气体的材料形成。从而可确保空腔内的真空度，且有效率地进行制造。

主权项

一种压电振动器，其特征在于包括：基底基板及盖基板，以在该基底基板与盖基板之间形成空腔的方式叠合；压电振动片，收容于所述空腔内并与所述基底基板一侧接合；吸气材料，以收容于所述空腔内的方式形成在所述基底基板；以及接合膜，形成在所述盖基板中朝向所述基底基板一侧的整个面，并在与所述基底基板接触的部分接合两基板，所述接合膜用通过照射激光来激活而可吸附周围气体的材料形成。