一种贮槽式液氦低温吸附泵

摘要

本实用新型公开了一种贮槽式液氦低温吸附泵，包括有壳体，壳体上有连接法兰，法兰和被抽真空的系统的空间相连接，壳体内安装有液氮杜瓦、液氦杜瓦，液氦杜瓦为双层结构，位于液氮杜瓦内侧，液氦杜瓦底部为低温吸附面，液氮杜瓦底部布置有人字形辐射挡板，整个泵体通过底部法兰与真空系统连接。实际使用中，本实用新型贮槽式4.2K液氦低温吸附泵在极其复杂的电磁环境下(如用在NBI中性束注入设备)使用，吸附面对H2的比抽速可达到12L/s.cm2，对氦也具备一定的抽速，可达到8.5L/s.cm2，工作稳定可靠且有优越的气体负荷适应能力。

主权项

一种贮槽式液氦低温吸附泵，包括有顶端开有进液敞口的壳体，所述壳体上安装有法兰，所述壳体内设置有充有液氮的液氮杜瓦、充有液氦的液氦杜瓦，所述液氦杜瓦与液氮杜瓦均开有朝向壳体进液敞口的进液开口，其特征在于：所述液氦杜瓦位于所述液氮杜瓦内部，所述液氦杜瓦底部为低温吸附面，所述液氮杜瓦内部还设置有辐射挡板，所述辐射挡板位于所述液氦杜瓦底部的低温吸附面与所述液氮杜瓦底部平面之间。