| 发明名称 | 平板显示器制造设备的起模针模块 | ||
| 摘要 | 一种平板显示器制造设备的起模针模块，用于基板处理装置中，该基板处理装置包括：下部电极，基板置于其上；以及支撑置于所述下部电极上的所述基板的起模针模块，其中所述起模针模块包括上部起模针，其穿过形成于所述下部电极上的起模针孔上下运动以支撑所述基板；下部起模针，与所述上部起模针的下端相耦合，并具有形成于所述下部起模针的上端的容纳槽；以及针耦合器，所述针耦合器上端形成有孔，下端具有插入突出物并且插入所述容纳槽内，所述插入突出物能够在所述容纳槽中前后移动。 | ||
| 申请公布号 | CN101308806B | 申请公布日期 | 2011.02.02 |
| 申请号 | CN200810085704.8 | 申请日期 | 2006.05.09 |
| 申请人 | 爱德牌工程有限公司 | 发明人 | 李荣钟;崔浚泳;金春植;李昌根;金炯寿;李祯彬;黄荣周;孙亨圭;李升昱;尹炳五;任相俊;金龙泰 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 史敬久 |
| 主权项 | 一种基板处理装置，包括：下部电极，基板置于其上；以及支撑置于所述下部电极上的所述基板的起模针模块，其中所述起模针模块包括：上部起模针，其穿过形成于所述下部电极上的起模针孔上下运动以支撑所述基板；下部起模针，与所述上部起模针的下端相耦合，并具有形成于所述下部起模针的上端的容纳槽；以及针耦合器，所述针耦合器上端形成有孔，其中，所述上部起模针的下端插入所述针耦合器的所述孔中，且所述针耦合器还具有插入突出物，该插入突出物位于该针耦合器的下端并且插入所述容纳槽内，其中，所述插入突出物小于所述容纳槽，使得所述插入突出物能够在所述容纳槽中沿水平方向移动。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||