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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Erhöhung der Zerstäubungsrate in einem Zerstäubungsgerät
摘要
申请公布号 DE69403386(T2) 申请公布日期 1997.09.18
申请号 DE19946003386T 申请日期 1994.04.22
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 GUO, XIN SHENG, MOUNTAIN VIEW CA 94040, US
分类号 C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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