| 发明名称 | 等离子增强化学气相沉积的方法及系统 | ||
| 摘要 | 一种处理基片或工件(108)的装置，其中，基片或者工件(108)用于制造太阳能电池板。所述装置包括多个细长电极(103)以及具有多个孔的喷射板(104)。每个孔对应一个细长电极(103)，并在所述孔与所述细长电极(103)之间留有空隙(112)。因此，当给所述电极(103)和喷射板(104)施加射频源时，化学物质可通过所述空隙(112)喷射。 | ||
| 申请公布号 | CN101965417A | 申请公布日期 | 2011.02.02 |
| 申请号 | CN200980101398.5 | 申请日期 | 2009.01.04 |
| 申请人 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 发明人 | 范振华 |
| 分类号 | C23C16/513(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/513(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 张艳美;郝传鑫 |
| 主权项 | PCT国内申请，权利要求书已公开。 | ||
| 地址 | 523081 中国广东省东莞市南城区石鼓村大龙路6号 | ||