发明名称 金属原子束发射源
摘要 一种涉及发射金属原子束的金属原子束发射源。它是内热式加热的立式炉体结构。置放金属材料的带有槽盖的料槽位于炉体的中心,周围的孔洞内有加热器,炉体前侧面上方有与料槽相通螺孔内的原子束喷嘴,炉体后侧面有将束源固定在真空室中的支架,炉体内还置有测温元件,装有金属材料的料槽中还有带小孔的挡板。此束源结构简单,体积小,加热功率低,获得束流强,加热器便于更换和维修。
申请公布号 CN2272606Y 申请公布日期 1998.01.14
申请号 CN96229570.1 申请日期 1996.04.02
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 蔡惟泉
分类号 G21G4/06 主分类号 G21G4/06
代理机构 上海华东专利事务所 代理人 李兰英
主权项 1.一种金属原子束发射源,是内热式加热的立式炉体结构,其特征在于具体结构是:置放发射原子束金属材料(2)的料槽(17)位于由高温材料制成的炉体(1)的中心,料槽(17)的顶端有料槽盖(7);炉体(1)内的料槽(17)周围的孔洞(18)内置有加热器(11);炉体(1)前侧面上方有置于与料槽(17)相通的螺孔(13)内的原子束喷嘴(14);炉体(1)后侧面有两个螺孔(3)与供发射源固定于真空室中用的螺钉和支架(4)相配;置有金属材料(2)的料槽(17)内还有由螺母(5)固定于螺钉(6)上的带有多个小孔(16)的挡板(15);经孔洞(8)置入炉体(1)内有测温元件(9)。
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