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发明名称 Process for Depositing Adherent Diamond Thin Films
摘要
申请公布号 CA2182245(A1) 申请公布日期 1998.01.30
申请号 CA19962182245 申请日期 1996.07.29
申请人 BOARD OF TRUSTEES, A CONSTITUTIONAL CORPORATION OPERATING MICHIGAN STATE UNIVERSITY 发明人 ULCZYNSKI, MICHAEL J.;REINHARD, DONNIE K.;ASMUSSEN, JES
分类号 C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/452;C23C16/50;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
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